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楔形鍵合點剪切測試實用性的科學評估

 更新時間:2026-01-13 點擊量:202

 

在半導體封裝領域,焊球-剪切測試因其直觀、有效而成為評估金球鍵合點質量的行業(yè)標準。然而,對于線徑更細、形貌更復雜的超聲鋁楔形鍵合點,直接沿用剪切測試方法進行強度評估是否科學可靠?今天,科準測控小編就來和大家一起探討這個在鍵合質量評估中頗具挑戰(zhàn)性的問題:剪切測試這一評估球形鍵合點的“利器",是否同樣適用于超聲楔形鍵合點?

 

一、對比實驗

為回答這個核心問題,美國國家標準與技術研究院(NIST)與桑迪亞國家實驗室(Sandia)進行了一次嚴謹的聯合研究。

實驗設計如下:

材料:使用三組線徑為25μm1密耳)、含1%硅的鋁絲。

工藝:在NIST,通過超聲楔形鍵合工藝,將這些鋁絲鍵合到同一晶圓的鋁金屬層上,形成大量鍵合點。

方法:隨機選擇一半鍵合點進行破壞性拉力測試,隨后將晶圓送至Sandia,對剩余鍵合點進行剪切測試。

目標:直接對比兩種測試方法對同一批鍵合點評估結果的差異性與相關性。

 

二、測試結果

實驗數據結果如圖:

image.png 

核心發(fā)現是:拉力測試與剪切測試的結果呈現顯著的、系統(tǒng)性的背離。

具體表現為:隨著鍵合點形變(即壓扁程度)的增加:

拉力測試值明顯下降,剪切測試值卻保持穩(wěn)定甚至可能上升。

這一看似矛盾的現象,其根源在于兩種測試方法所評估的失效機理與敏感區(qū)域不同。

 

三、機理剖析:拉力與剪切,究竟測的是什么?

要理解數據背離,必須深入鋁楔形鍵合的冶金學本質。

1. 拉力測試的敏感區(qū):脆弱的“腳跟"

在超聲鋁楔形鍵合過程中,引線在鍵合工具壓力下發(fā)生塑性形變。鍵合點的“腳跟"部位(即引線進入鍵合點的彎曲根部)經歷了最劇烈的變形和加工硬化,成為整個結構的力學薄弱點。

拉力測試垂直向上施力,其失效通常始于這個過度加工、已然脆弱的“腳跟"部位發(fā)生頸縮或斷裂。因此,形變越大,腳跟越弱,拉力值就越低。拉力測試靈敏地反映了這一“最弱環(huán)節(jié)"的強度。

2. 剪切測試的“盲區(qū)"與敏感區(qū):焊接界面

剪切測試從側面水平推切鍵合點。其工具作用于鍵合點主體,避開了“腳跟"區(qū)域。

剪切失效主要發(fā)生在鋁絲與鋁焊盤之間的焊接界面。其強度直接取決于界面原子結合的緊密程度,即有效的焊接面積。

形變增加,雖然惡化了腳跟強度,卻同時增大了鋁絲與焊盤的接觸與焊接面積。因此,剪切力值可能保持不變或增加,它反映的是界面結合質量,而非整體結構的最弱處。

 

簡言之:拉力測的是“結構瓶頸"(腳跟),剪切測的是“界面結合"(焊區(qū))。一個鍵合點即使腳跟已存在裂紋甚至近乎斷裂,只要界面焊接良好,仍能測出很高的剪切力值。

image.png 

四、工程實踐中的結論與啟示

基于上述機理,可以得出以下關鍵結論:

1. 局限性:剪切測試并非評估細鋁絲楔形鍵合點整體可靠性的有效通用工具,尤其當鍵合點形變超過線徑2倍以上時。它無法預警由“腳跟"脆弱導致的早期拉力失效風險。

2. 有條件的使用價值:在充分理解其原理局限的前提下,剪切測試儀因其高精度(定位精度達微米級)的優(yōu)勢,有時可用于專項評估楔形鍵合點的焊接界面質量。

3. 現代工藝下的可行性窗口:對于采用高頻鍵合(≥100kHz)的現代設備,推薦的楔形鍵合點最小形變約為線徑的1.25倍。在此規(guī)范下,除非使用線徑≤25μm的極細引線,否則由“腳跟"過度弱化導致的問題不再突出,此時使用剪切測試進行工藝監(jiān)控通常是可行的。

 

 

NISTSandia的這項研究深刻揭示:在精密制造領域,沒有放之四海而皆準的測試方法。理解不同測試方法背后的物理機制,是科學評估鍵合質量的前提??茰蕼y控的精密測試設備與分析方案,正是為了幫助工程師獲得這種深層洞察而設計通過專業(yè)的測試技術與解決方案,賦能工程師做出更精準、更可靠的判斷,共同守護半導體封裝的品質基石。

 

 


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